Nasza firma opracowała próżniowy metalizator typu roll-to-roll z magnetronowym natryskiem

Jaka jest zasada działania urządzenia do metalizacji próżniowej metodą natrysku magnetronowego typu roll-to-roll?

Urządzenia do metalizacji próżniowej metodą rozpylania magnetronowego wykorzystują interakcję między polami elektrycznymi, polami magnetycznymi i cząsteczkami zjonizowanego gazu, aby bombardować materiał ze stałego celu (źródła powłoki) na podłoże.

Po przeniesieniu komory próżniowej do środowiska wysokiej próżni, do komory wstrzykuje się gaz obojętny, zazwyczaj argon (Ar). Pomiędzy katodę (materiał do osadzenia) a anodę przykłada się wysokie napięcie prądu stałego. Napięcie jonizuje atomy argonu, odrywając elektrony i tworząc plazmę z dodatnio naładowanych jonów argonu (Ar⁺) i wolnych elektronów.

Jony argonu (Ar⁺) w plazmie są przyspieszane przez pole elektryczne w kierunku ujemnie naładowanego celu. Zderzając się z celem, jony przekazują pęd jego atomom, wyrzucając je do fazy gazowej. Wyrzucone atomy celu przemieszczają się następnie i kondensują na podłożu, tworząc jednorodną, ​​gęstą i przylegającą cienką warstwę.

Kluczową cechą rozpylania magnetronowego jest wykorzystanie pola magnetycznego, wytwarzanego przez magnesy umieszczone za tarczą. To pole magnetyczne uwięzia elektrony w pobliżu powierzchni tarczy, zmuszając je do poruszania się po torach śrubowych. To uwięzienie zwiększa prawdopodobieństwo zderzenia elektronów z jonami, zwiększając gęstość plazmy i wydajność jonizacji. W rezultacie, większy strumień jonów uderza w tarczę, co znacznie zwiększa szybkość rozpylania w porównaniu z konwencjonalnymi metodami rozpylania.

Jakie są zalety rozpylania magnetronowego?

Filmy wysokiej jakości: Tworzy gęste, jednolite powłoki o niewielkiej liczbie defektów i doskonałej przyczepności dzięki dużej szybkości osadzania.

Wszechstronność materiałów: Kompatybilny z metalami, stopami i ceramiką.